혁신적인 광학기술력

3) 진동 속도 (Vibration Velocity) :

단위 시간당 진동의 변위로 진동의 세기를 표현

(단위: cm/s, mm/s)

4) 진동 가속도 (Vibration Acceleration) :

단위 시간당 속도가 변화는 비율. (단위: cm/2, mm/S3)

5) 고유 진동수 (Natural Frequency) :

물체가 가지고 있는 특유의 진동수.

6) 강제 진동수 (Forced Frequency) :

물체에 외력을 가했을 때 발생하는 진동수.

7) 진동 가속도 레벨 (Vibration Acceleration Level) :

진동 가속도를 데시벨(dB) 형태로 표시.

8) 공진 (Resonance) :

외력에 의해 발생한 진동수와 고유진동수가 일치 할 때

발생하는 진동수

9) 감쇠 (Damping) :

진동하는 물체의 진폭 감쇠로, 물체의 에너지가 열이나

마찰 등에 의해 손실 되는 것.

- 유체 감쇠 : 공기, 물, 기름 등과 같은 유체의 점성,

마찰 또는 난류에 의해 감쇠. (점성감쇠, 난류감쇠)

- 마찰 감쇠 : 물체가 직접 다른 물체에 닿아 마찰력에 의한

감쇠

장비를 올리는 플랫폼이 좁거나 장비 자체의 무게중심이 높은 경우 테이블의 안정성 문제가 발생할 수 있습니다.

공압식 광학테이블 시스템은 서포트 사이로 다이어프램 높이의 회전 중심이 위치하며, 이를 기준으로 회전 운동이 발생합니다. 대부분의 경우 무게 중심이 다이어프램보다 높아 부하 무게로 인해 기울어짐이 나타나며, 기울어질수록 제진대의 강성에 의해서 반발력이 발생하여 반복 적으로 좌우로 흔들리는 Rocking현상이 나타날 수 있습니다. 강성이 높은(Hard) 서포트 일수록 안정도가 좋지만, 제진성능은 다소 떨어질 수 있습니다.

반면에 강성이 낮은(Soft) 서포트는 안정도가 조금 떨어지지만 제진 성능이 뛰어납니다. 따라서 제진대를 선정할 경우, 안정도-제진성능 간의 적절한 선택이 필요합니다.

3) 진동 속도 (Vibration Velocity) : 단위 시간당 진동의 변위로 진동의 세기를 표현. (단위: cm/s, mm/s)

4) 진동 가속도 (Vibration Acceleration) : 단위 시간당 속도가 변화는 비율. (단위: cm/2, mm/S3)

5) 고유 진동수 (Natural Frequency) : 물체가 가지고 있는 특유의 진동수.

6) 강제 진동수 (Forced Frequency) : 물체에 외력을 가했을 때 발생하는 진동수.

7) 진동 가속도 레벨 (Vibration Acceleration Level) : 진동 가속도를 데시벨(dB) 형태로 표시.

8) 공진 (Resonance) : 외력에 의해 발생한 진동수와 고유진동수가 일치 할 때 발생하는 진동수

9) 감쇠 (Damping) : 진동하는 물체의 진폭 감쇠로, 물체의 에너지가 열이나 마찰 등에 의해 손실 되는 것.

- 유체 감쇠 : 공기, 물, 기름 등과 같은 유체의 점성, 마찰 또는 난류에 의해 감쇠. (점성감쇠, 난류감쇠)

- 마찰 감쇠 : 물체가 직접 다른 물체에 닿아 마찰력에 의한 감쇠

장비를 올리는 플랫폼이 좁거나 장비 자체의 무게중심이 높은 경우 테이블의 안정성 문제가 발생할 수 있습니다. 공압식 광학테이블 시스템은 서포트 사이로 다이어프램 높이의 회전 중심이 위치하며,

이를 기준으로 회전 운동이 발생합니다. 대부분의 경우 무게 중심이 다이어프램보다 높아 부하 무게로 인해 기울어짐이 나타나며, 기울어질수록 제진대의 강성에 의해서 반발력이 발생하여 반복 적으로 좌우로 흔들리는 Rocking현상이 나타날 수 있습니다. 강성이 높은(Hard) 서포트 일수록 안정도가 좋지만, 제진성능은 다소 떨어질 수 있습니다.

반면에 강성이 낮은(Soft) 서포트는 안정도가 조금 떨어지지만 제진 성능이 뛰어납니다. 따라서 제진대를 선정할 경우, 안정도-제진성능 간의 적절한 선택이 필요합니다.